Kezelők

A robotkezelés biztosítja a biztonságos be- és kirakodását, és elkerüli a kezelési hibákat és sérüléseket. Kezelőket kínálunk:

• Wafers (EFEM)
• Waffle trays
• Magazinok

Könnyű programozás

The open Sigma software enables easy programming of total automation steps, positions, and commands. Az automatizálási szerkesztő kamerás vizualizációt és intelligens segédleteket alkalmaz.

• Wafer térkép import
• Mátrix kiválasztása

Okos látás

Tekintse meg a láthatatlant akár 3 élő kameraopcióval. A nagy felbontású kamerák, a rugalmas LED-megvilágítás és a fantasztikus képfeldolgozási lehetőségek segítségével képekkel vagy videókkal emelje ki az érdeklődésre számot tartó funkciókat. A jól elkészített képek az automatikus osztályozás bemenetei lehetnek.

• Több kamera
• Képfeldolgozás
• Optikai 3D funkció

Szerszámbeállítás

A pontos szerszámbeállítás elengedhetetlen a megfelelő kötések teszteléséhez. A koncentrikus korrekcióval 5 µm-nél kisebb szerszámexcentricitás érhető el, és az egyedi szerszámkialakítások segíthetnek az igazítás során. Megoldásokat kínálunk testreszabott horogtalp-hosszban vagy önbeálló nyírószerszámban, amely korrigálja a szerszám és a minta közötti apró, de fontos szögeltéréseket. A kamera és a mély hozzáférésű eszközök használata lehetővé teszi az összetett mintaarchitektúra tesztelését. Másodpercek alatt válthat a különböző szerszámok között az egyedülálló, 6 az 1-ben mérőfej RMU segítségével.

Fiduciális felismerés

Határozzon meg felismerhető formákat, mintákat vagy jeleket globális vagy helyi referenciaként a pozicionáláshoz és az automatikus szerszámbeigazításhoz.

Győződjön meg arról, hogy a minta megfelelő helyzetben van a megfelelő kötések teszteléséhez. A fiduciálok segítenek az esetleges elmozdulások korrigálásában. A kamerás vizualizációval könnyen meghatározható a felismerhető formák, minták vagy jelek globális vagy lokális referenciaként.

Vezeték észlelése

A folyamattűrések vagy az alkatrészkezelés miatt a helyükről elsodort alkatrészek és finom osztású vezetékek felismerése.

Tanítsa meg a pontos pozíciót az első és a második kötés között a kameravizualizáció és az AOI szerkesztő segítségével. Egyszerűen javítsa ki a hiányzó vezetékeket vagy a felismerési problémákat az automatizálási ciklus alatt vagy azt követően kiterjedt jelentésekkel.

Osztályozási futás

Hagyományosan az operátorok minden teszt után elvégzik az osztályozást. A Sigma 2 alternatívát kínál a folyamat hatékonyabbá és következetesebbé tételéhez.

• A kezelő az összes osztályozást egyben végzi el
  lépést egy tesztsorozat után, a mikroszkóp vagy egy offset kamera segítségével.
• A Sigma egy lépéssel tovább tud lépni, és automatikusan meghatározza a hibamódokat (autograding).

Automatikus osztályozás

Sok vezető gyártó automatikusan osztályozza a teszteredmények képeinek hibamódjait. Golyós nyírás esetén az intelligens optikai ellenőrző algoritmusok kiszámítják a fennmaradó kötőanyag százalékos arányát a kívánt régióban, és osztályozások segítségével azonosítják a meghibásodási módot. Más típusú kötéshibákat is automatikusan osztályozhat.

Az üzemeltetőknek nem kell elvégezniük az értékeléseket a hibamódok elfogadásával vagy szerkesztésével az automatizálási futás végén. A gépi látás szoftverrel és a mély tanulással egy neurális hálózatot képezünk ki, hogy elvégezze a képfeldolgozást az Ön helyett. A hibamód kritériumainak előzetes besorolásával a képfelismerés készen áll az automatikus osztályozás végrehajtására, segítség nélkül.

Képmérés (AOI)

Gyorsan mérhet manuálisan a rögzített képeken vonalak vagy alakzatok (téglalapok, ellipszisek) rajzolásával, és mérje meg:

• Távolságok
• Hosszúság
• Szélesség
• Magasság
• Területek

A fejlettebb képfeldolgozáshoz, szűréshez, szegmentéshez és az alakzatok észleléséhez használhatja az Automated Optical Inspection (AOI) funkciót. Az AOI lehetővé teszi a teszteredmények vizsgálatát, valamint az objektumok és szögek közötti jellemzők mérését.

Adatkommunikáció

Több mérés után automatikusan tárolja a jelentéseket. A szerkesztő támogatja az exportálást fájlba, soros portba, vágólapra és más protokollokba, mint például a SECS/GEM.

Megosztás a rendszerek között

• Ossza meg a tesztbeállításokat és -adatokat a gépek között
• Központosított biztonsági mentés
• Tárolási kapacitás
• Történelmi információs feljegyzések
• Adatok integritása

SECS/GEM

A SECS/GEM egy berendezés-interfész-protokoll berendezés-host adatkommunikációhoz a félvezetőiparban. Számos xyztec-ügyfél használja a Sigma kétirányú SECS/GEM képességét teszteredményekhez, képekhez, receptekhez és egyéb adatokhoz.